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砷烷(AsH3)电子特气系统在集成电路关键制程工艺中的应用

2021-01-18 10:40:01    责任编辑: 特气系统工程设计安装企业     0

半导体产业是国民经济的重要组成部分,高纯电子特气是半导体产业发展所需的核心原料之一,在半导体材料需求中占比排名第二,达到15%左右。高纯砷烷(AsH3)就是其中一种常用的高纯电子特气,在半导体集成电路中,通过电子特气系统,安全稳定的参与外延、扩散、离子注入等工艺。



什么是砷烷?

砷烷(AsH3)又称砷化氢,是一种剧毒的易燃无色气体,具有大蒜臭味,热稳定性较差,受热时易分解为氯气和元素砷。

砷烷是一种强烈溶血毒物,红细胞溶解后的产物可堵塞肾小管,引起急性肾功能衰竭,长期在低浓度砷化氢环境中作业主要表现为头痛、乏力、恶心、呕吐,较重者可有多发性神经炎,是一种危险性电子特气,在运输、存储和使用等过程中都要注意安全。


砷烷的应用领域:

砷烷(AsH3)是电子工业的重要基础材料之一,是一种重要的电子特气,在半导体工业中主要用于外延硅的N型掺杂、硅中的N型扩散、离子注入、生长砷化镓(GaAs) 和磷砷化镓(GaAsP),以及与ⅢA/ⅤA族元素形成半导体化合物等。

砷烷(AsH3)是制造半导体化合物砷化镓的重要材料,由砷化镓(GaAs)集成电路所提供的高速度和高频率是其它器件所不能比拟的.由它制备的微波变频器件和光电器件,广泛用于导弹制导、雷达和新一代卫星通讯等装置。


砷烷电子特气系统的应用:

砷烷电子特气系统是通过砷烷特气柜等SEMI 2认证的特种设备、高洁净度耐腐蚀的EP级316L气体管道及气体泄漏监测报警系统等,来保证剧毒易燃的砷烷气体纯度和气体的安全储存、输送及使用。



综上,砷烷(AsH3)是一种重要且危险的电子特气,通过砷烷电子特气系统保证气体安全稳定使用,广泛用于半导体、集成电路、光电子、太阳能电池和微波装置等行业。感谢您的阅读!


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