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电子特种气体控制面板VMP设计

电子特种气体控制面板VMP设计

发布时间:2020-03-26
特气控制面板的设计特气控制面板是气路系统中重要的一个控制单元,这里主要围绕易燃易爆性、毒腐性、面板控制等先容,包括特气面板设计规范和作用等内容。特气输送面板先容特气输送面板是气源部分非常重要的控制单元。一般工艺气体从钢瓶出来,经过高压控制盘面时,都实现了一次调压、过滤、流量稳定、吹扫、抽真空、压力侦测等功能。不同的气体和工艺需求,可以根据实际情况定制具体功能。现阶段,越来越多的高校实验室引入了ICP、PVD、PEVCD等设备进行芯片镀膜、刻蚀方面的研究,这些工艺气体多是硅烷、乙烯、溴化氢等毒腐、易燃易爆性气体,对于气源的控制要求非常高,也给供气面板提出了很多要求。特气面板设计规范指南面板阀门1、自然性、可燃性、毒性、腐蚀性气体面板应设有紧急关断阀门,并应为常闭气动阀门,位置应靠近气瓶;2、气瓶压力大于0.1MPa的自然性、可燃性、毒性、腐蚀性气体面 板应设有过流开关;3、自然性、可燃性、毒性、腐蚀性气体面板应设有惰性气体吹扫、辅助抽真空装置,真空管路应设止回阀;4、气体面板应设置工艺气体排气口。可燃性特气柜设计参考气瓶柜硅烷气瓶柜的排风换气次数不得低于1200次/H,且气柜的负压应连续监控;自燃性特种气体的气瓶柜应设置紫外、红外火焰探测器;可燃性特种气体的气瓶柜应设置谁喷淋系统;自燃性特种气体的气柜应在气瓶之间设置隔离钢板。VMP阀门盘气体面板设计的意义输送控制面板的设计对于整个供气系统的便捷性、生命安全都起到非常重要的控制作用,在设计初期,业主需要将工艺、要求等提供给设计院作为设计依据,同时,在建设周期,有必要参考相应的规范将要求落实到施工当中去。
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